Herbstsemester 2011-Physik Institut der Universität Zürich

Strukturierung auf der Mikro- und Nanometer-Skala: Prinzipien und Anwendungen

Vorlesung und Übungen: Hans-Werner Fink und Conrad Escher

Termin: Freitag, jeweils von 14:15 bis 16:00 im Raum 36 J 33

Beginn: Freitag, 23. September 2011 um 14:15 im Raum 36 J 33

Aus dem Inhalt:

Anwendungen der Lithografie in der Mikroelektronik, Fluid-Mechanik, Medizinischen Diagnostik und Mikroskopie.

Herstellung und Charakterisierung dünner Schichten: Atomistik der Keim- und Schichtbildung, Laborexperimente.

Lithografieverfahren mittels Licht, Röntgen-, Elektronen- und Ionen-Strahlen.

Gestaltung der Übungen:

Übung 1: Jeder Teilnehmer des Moduls soll sich mit einem Simulationspogramm vertraut machen und dieses anwenden um ein konkretes (für jeden individuelles) Elektronenoptik- oder Ionenoptikproblem zu bearbeiten und die Lösung zu präsentieren.

Übung 2: Jeder Teilnehmer des Moduls soll sich mit einer aktuellen Forschungsarbeit vertraut machen. Basierend auf den Erkenntnissen dieser Arbeit, soll dann eine weiterführende Projektskizze erstellt und präsentiert werden.

Unterlagen zur Vorlesung und den Übungsaufgaben

DIE MODULPRÜFUNG findet am Mittwoch, dem 18. Januar 2012 im K08 - ab 10:15 statt